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旋片真空泵厂家介绍爪式泵的特点
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旋片真空泵厂家介绍爪式泵的特点
作者:admin 来源: 日期:2015-4-28 16:36:46 人气: 标签:旋片真空泵

  分子真空泵(简称分子泵)是1913年是德国人盖得(W.Gaede)首先发明的。他又以气体的外摩擦作用为分子泵奠定了理论基础。

  虽然分子泵是一种机械泵,但它已经摆脱了那种靠容积变化来抽气的容积泵原理,而是靠高速运动的刚体表面来携带气体分子实现抽

  气的一种新型机械真空泵。通常把高速刚体表面携带气体分子按一定方向运动的现象成为分子牵引,或称为气体的外摩擦输运现象。因此,人们把盖得发明的分子泵称为牵引分子泵。这种泵具有启动时间短,抽重气体比抽轻气体快等一系列优点。但由于它的密封间隙小,容易引起机械故障以及加工精度要求高等,除特殊需要外,实际上很少应用,曾有些人做过不少改进,出现过几种不同类型的牵引分子泵,但因为抽速低没有推广应用,曾一度被结构简单的扩散泵所代替。

  德国人贝克(W.Becker)1956年发明了一种适于超高真空下工作的涡轮分子泵。这种泵和牵引分子泵相比,在结构和原理方面并不完全相同。涡轮分子泵是以高速旋动的动叶片和静止的定叶片相互配合来实现抽气的。这种泵的极限压力可以达到10-9帕以下,对油蒸汽等高分子量气体的压缩比很高,几乎能达到测不出的程度。因而残余气体中油蒸汽的分压力很低。由于轴承用的润滑油仅在泵的出口侧存在,故泵在运转过程中入口处检查不出油的痕迹。因此,涡轮分子泵可以获得清洁无油的超高真空。这种泵如果长期不用,轴承处的油蒸汽会扩散到泵的入口侧,降低泵所能达到的清洁程度。为了消除油蒸汽的污染,在工作时,须对泵的入口进行烘烤除气,烘烤温度要严格控制,过高会使叶片变形。有的在停泵时,用压力为13hPa的干燥气体充入泵内,以消除油蒸汽返流造成的污染。

  爪式泵是为半导体工业发展而研制的,它有如下一些特点:

  1)泵腔内无润滑剂,因而无返油现象发生;

  2)抽气原件为非接触式的可实现高速运转(3000r/min);

  3)与被抽气体接触的表面防腐蚀耐磨损;

  4)在泵腔内气流垂直运动,少量的颗粒物和液体等在重力作用下易于排除;

  5)该泵型式多样,功能可以扩展,泵的主体,带有齿轮、马达以及气体净化设备,附件有入口处防反流的阀门,出口处有截流阀,电气监控及报警装置;

  6)齿轮和泵轴的下轴承用PFPE油润滑,上端盖内的轴承用PFPE油脂润滑;

  7)第二、三、四级均有净化气体入口,以改善被抽介质顺利通过泵腔,无此需要的可以不用通净化气体,净化气体用三个流量计分别调节,相互都是独立的,以保证节约惰性气体,利用三个电磁阀可微调其流量;

  8)入口防返流阀能将被抽容器与泵腔隔断,出口处截流阀能将泵的出口封闭起来,将泵通以净化气体,这些阀可自动开关,真空系统有可靠的保护,杜绝了向真空室的返流;

  9)电气监控与操作,主要有电源,远距离操作和开关阀等的控制。

  当泵出现故障时泵能自动停车,两个阀门一齐关闭或截流阀关闭。动力和遥控有一台变压器和整流器,以提供所需的电流电压,以满足监控过程的需要。动力电源、继电器用以对马达的接通与断开及马达超负荷的保护。操作过程有显示器,有按钮控制,可控制马达、防返流阀的控制阀和截流阀的控制阀,第二、三、四级的净化气体的通断阀,惰性气体的主阀,净化气体向轴封处通气用的阀门等。故障的监控报警或停车,系统安全自动控制,也可按钮控制。启动时,打开净化气体,泵正常运行3min,净化气体向各段

  涌入,通净化气体对泵性能有些影响。每当遇到紧急情况可按自动停车键,净化气体继续接通,关闭入口防返流阀,各级泵净化1min,净化结束,马达再停车,关闭惰性气体截止阀。

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